Samsung will erstmals für Speicherproduktion neueste Röntgenbelichter einsetzen

EUV-Anlage aus den Niederlanden. Foto: ASML Eindhoven/Suwon/Dresden, 08.09.26. Der KI-Boom hat die Nachfrage nach Speicherchips derart angeheizt, dass DRAM-Riegel knapp und teuer geworden sind. So teuer, dass sich nun auch neueste Fertigungstechnologien für die Speicher-Produktion lohnen. Samsung hat nun angekündigt, bis 2028 die jüngsten Extrem-Ultraviolett Belichtungssysteme (EUV) mit hoher numerischer Apertur ('High NA') in seinen Speicherchip-Fabriken einzuführen. Das hat der weltweite Alleinhersteller solcher Anlagen, ASML aus den Niederlanden, nun mitgeteilt. Zeiss als Schlüsselzulieferer Von dieser Weichenstellung profitiert aber nicht nur ASML, sondern auch Zeiss: Der deutsche Optikkonzern liefert nämlich die Röntgenspiegel dafür an die Niederländer – eine Schlüsselkomponente für diese Systeme. Bisher setzten erst wenige Mikroelektronikkonzerne wie Intel 'High-NA EUV'-Belichter ein. Denn solche Anlagen sind sehr teuer: Sie kosten 350 bis 400 Millionen Euro pro Belichter und damit etwa doppelt soviel wie ein 'normaler' EUV-Belichter und etwa siebenmal soviel wie ein optische DUV-Lithografieanlage. Daher waren Branchenprimus TSMC, SK Hynix und eben auch Samsung lange Zeit eher skeptisch angesichts der hohen Investitionen, sind inzwischen aber eben auch auf 'High-NA EUV' eingeschwenkt. Spezialspiegel von Zeiss für die EUV-High-NA-Belichter von ASML. Foto: Zeiss SMT Europa hängt beim Einsatz der eigenen Belichtungstechnologie inzwischen weit hinterher Für Europa ist diese Technologie auch wegen der hohen Kosten ein zweischneidiges Schwert: Einerseits profitieren mit ASML und Zeiss zwei europäische Technologieunternehmen als Hersteller stark vom Trend hin zu immer kleineren Chipstrukturen unterhalb von drei Nanometern – darunter übrigens auch ein Zeiss-Standort in Coswig bei Dresden. Andererseits gibt es kein europäisches Mikroelektronik-Unternehmen, das in dieser Liga mitspielen könnte. Auch Dresden hat an Boden verloren Selbst Dresden als Europas führender Halbleiterstandort hängt in dieser Königsdisziplin inzwischen weit hinterher. Das war mal anders: In den 2000er Jahren habe die internationale 'Lithografiemusik noch in Dresden gespielt', schätzte erst kürzlich Rolf Seltmann, ehemaliger 'Lithografie Fellow' von Globalfoundries, bei einem Themenabend der sächsischen Mikroelektronik-Alumni in Dresden ein. Damals setzte die Dresdner AMD-Fab 36 als weltweit erstes Werk neue, 'nasse' Immersions-Lithografiesysteme ein, gründeten Qimonda, AMD, DuPont-Photomasks und andere Partner in der sächsischen Landeshauptstadt ein gemeinsames Zentrum, das an allerneuesten Chipmasken forschte. Doch seit Qimonda pleite gegangen ist, AMD die eigene Prozessorproduktion in Dresden aufgegeben und Globalfoundries aus dem Wettlauf um die höchstintegrierten Schaltkreise ausgestiegen ist, spielt die Litho-'Musik' nur noch in Asien, in den USA und ein Stück weit in den Niederlanden. Autor: Heiko Weckbrodt Quellen: ASML, Oiger-Archiv